薄膜制备平台致力于超硬超耐磨薄膜涂层，薄膜型全固态电池材料，以及新型微储能器件的技术开发及应用研究。现已成功搭建一间优质实验室，拥有一支年轻优秀的研发团队、国内外先进的科研设备及整洁的研究环境。
薄膜制备平台主要研究内容包括：（1）超强超耐磨纳米聚晶薄膜生长；（2）新型超硬涂层及涂层刀具研发；（3）先进全固态薄膜电池材料开发；（4）电子器件级金刚石散热片研制。
薄膜制备平台位于创园9栋202室，占地面积约为95平方米，平台现拥有多靶磁控溅射镀膜机、热丝化学气相沉积系统、微波等离子体化学气相沉积系统等先进的薄膜涂层制备生长设备。此外，平台现有材料表征设备包括XRD、高温摩擦磨损试验机、激光共聚焦拉曼光谱仪；共享设备有AFM、SEM、FIB、TEM、3D轮廓仪、纳米压痕仪、综合力学试验机等，可满足薄膜涂层材料所需的表征测试要求。
薄膜制备平台建设可满足本校师生共享使用需求，带动前沿与交叉学科的发展，提升南科大科研竞争力，同时也可开放运行为深圳市产业发展服务，推动高端制造业和精密制造业的发展。
© 2017 All Rights Reserved. 粤ICP备14051456号